洁净实验室设计的关键专业技术有哪些？

①生产工艺技术及其工艺设计,包括设备的选型、平面和空间布置、对各专业提出恰当的准确的条件和要求;②空气净化设计,包括满足生产工艺要求的净化空调系统及其设备的选择、合理配置,与工艺设计、洁净实验室建筑设计密切配合进行平面、空间的确定。还应包括对洁净室正常运行不可缺少的排气、排风系统的设置;③洁净实验室建筑设计,包括与工艺设计、空气净化设计密切配合,做好洁净室的平面、空间布置,做好人流、物流和防火分区、安全疏散等的安排,做好洁净室装修及其墙、顶棚、门窗、地面的设计选型和构造设计等;④消防、安全设施,包括各种类型的消防系统、设备,有害物质的检测和报警,安全保卫设施的合理配置;⑤其他,根据产品的生产工艺或使用要求,有的专业技术将会成为某些洁净室设计的关键专业技术,如集成电路生产中的光刻间洁净室设计时,由于对微震动要求十分严格,所以防微振设计就成为洁净实验室设计时的关键专业技术。