真空在线等离子清洗设备的工作原理是啥？

真空在线等离子清洗设备中产生等离子体的装置原理是把两个电极放在一个密封的容器中产生电场，用真空泵达到一定的真空度。当气体变得更薄时，分子间的距离以及分子或离子的自由移动距离都会增加。它们在正、负极场的作用下碰撞形成等离子体。这类离子有足够的活性和能量，可以破坏几乎所有的化学键，导致任何暴露表面的化学反应。各种气体的电浆具有不同的化学性质。如氧等离子体具有较高的氧化性能，能将光刻胶氧化成气体，从而达到清洁的目的。